АНАЛИЗ ПРИМЕНЕНИЯ РЕДКИХ ЭЛЕМЕНТОВ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Ключевые слова:
ксенон, криптон, сурьма, палладий, редкие элементы, микросхемы, надежность, характеристики, термическая стойкость, полупроводниковые материалыАннотация
Данная статья посвящена анализу роли редких элементов: криптона, ксенона, сурьмы и палладия в улучшении характеристик микросхем в микроэлектронике. В работе рассматриваются особенности применения каждого из элементов и их влияние на электрические, механические и термические свойства микросхем. Также анализируются различные методы введения редких элементов в материалы микросхем и примеры использования данных элементов в современной электронике. Результаты проведенного анализа могут быть полезны для разработчиков и производителей микросхем, которые стремятся улучшить их характеристики и увеличить эффективность работы.
Библиографические ссылки
Кучера Л.Я. Оценка надежности функционирования технических систем в аспекте развития инфраструктуры жизнеобеспечения // Современные технологии. Системный анализ. Моделирование – Иркутск, 2007. – 3 (15), С. 101-103.
Кучера Л.Я., Копанев М.В., Федорова Н.В. Моделирование показателей надежности технических систем // Современные технологии. Системный анализ. Моделирование – Иркутск, 2010. – 2 (26), С. 204-208.
Копанев М.В., Кучера Л.Я. Математическая модель формирования надежности стрелочного электропривода // Транспортная инфраструктура Сибирского региона: сборник статей всероссийской научно-практической конференции с международным участием. – Иркутск, 2016. – Т. 1, С. 244-249.
Надежность микроэлектронных систем: учебное пособие / В. И. Халимов и др. М.: Новосибирский государственный технический университет, 2017. - 344 с.
Интегральные микросхемы и их применение: учебное пособие / под ред. М. Е. Захарова. СПб.: Питер, 2016. - 448 с.
Смирнов, В. И. Технология полупроводниковых материалов: учебное пособие для вузов. М.: Бином, 2020. - 584 с.
Фролов, Д. Г., Шипилова, О. А. Влияние криптона и ксенона на работу микросхем. Электроника: наука, технология, бизнес, 2012, № 2, с. 102-109.
Ксеноны и редкие газы: учебное пособие / под ред. А. И. Дудина, Л. И. Моисеева. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 152 с.
Кузьменков Ю. Р. Редкие элементы в электронике. https://elar.urfu.ru/bitstream/10995/28841/1/978-5-7996-1186-6_2014.pdf
Данилов, Д. В., Шамов, С. А., Комкин, А. И. Сурьма и её соединения в технологии создания интегральных схем. Современная электроника, 2014, № 5, с. 34-39.
Карпов Ф. Г., Карташов В. И. Сурьма и ее сплавы в электронике // Труды ХХIII международной научно-технической конференции «Электроника и микроэлектроника». 2013. С. 166-169.
Айверсон Дж. Х. и др. Диффузионные барьеры из палладия для медных микроэлектронных соединений // Журнал вакуумной науки и техники В: Микроэлектроника и обработка нанометровых структур, измерения и явления, 2001.
Азарова, Е. И., Джуан, Х. А. Сравнительный анализ свойств золота, серебра, ксенона, криптона, сурьмы и палладия. Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. - 2017. - Т. 17, № 6. - С. 1137-1142.
Мангасарян, П. А., Аракелов, Л. А. Особенности свойств и применения редких металлов: золота, серебра, ксенона, криптона, сурьмы и палладия. Материалы и технологии. - 2019. - Т. 7, № 1. - С. 15-22.
Гальперин М. В. Электротехника и электроника : учебник / М. В. Гальперин. — 2-е изд. — Москва : ФОРУМ : ИНФРА-М, 2022. — 480 с.
