ANALYSIS OF THE APPLICATION OF RARE ELEMENTS IN MICROELECTRONICS
Keywords:
xenon, krypton, antimony, palladium, rare elements, microcircuits, reliability, characteristics, thermal stability, semiconductor materialsAbstract
This article is devoted to the analysis of the role of rare elements: krypton, xenon, antimony and palladium in improving the characteristics of microcircuits in microelectronics. The paper discusses the features of the use of each of the elements and their influence on the electrical, mechanical and thermal properties of microcircuits. Various methods of introducing rare elements into microcircuit materials and examples of the use of these elements in modern electronics are also analyzed. The results of the analysis can be useful for developers and manufacturers of microcircuits that seek to improve their performance and increase operational efficiency.
References
Кучера Л.Я. Оценка надежности функционирования технических систем в аспекте развития инфраструктуры жизнеобеспечения // Современные технологии. Системный анализ. Моделирование – Иркутск, 2007. – 3 (15), С. 101-103.
Кучера Л.Я., Копанев М.В., Федорова Н.В. Моделирование показателей надежности технических систем // Современные технологии. Системный анализ. Моделирование – Иркутск, 2010. – 2 (26), С. 204-208.
Копанев М.В., Кучера Л.Я. Математическая модель формирования надежности стрелочного электропривода // Транспортная инфраструктура Сибирского региона: сборник статей всероссийской научно-практической конференции с международным участием. – Иркутск, 2016. – Т. 1, С. 244-249.
Надежность микроэлектронных систем: учебное пособие / В. И. Халимов и др. М.: Новосибирский государственный технический университет, 2017. - 344 с.
Интегральные микросхемы и их применение: учебное пособие / под ред. М. Е. Захарова. СПб.: Питер, 2016. - 448 с.
Смирнов, В. И. Технология полупроводниковых материалов: учебное пособие для вузов. М.: Бином, 2020. - 584 с.
Фролов, Д. Г., Шипилова, О. А. Влияние криптона и ксенона на работу микросхем. Электроника: наука, технология, бизнес, 2012, № 2, с. 102-109.
Ксеноны и редкие газы: учебное пособие / под ред. А. И. Дудина, Л. И. Моисеева. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 152 с.
Кузьменков Ю. Р. Редкие элементы в электронике. https://elar.urfu.ru/bitstream/10995/28841/1/978-5-7996-1186-6_2014.pdf
Данилов, Д. В., Шамов, С. А., Комкин, А. И. Сурьма и её соединения в технологии создания интегральных схем. Современная электроника, 2014, № 5, с. 34-39.
Карпов Ф. Г., Карташов В. И. Сурьма и ее сплавы в электронике // Труды ХХIII международной научно-технической конференции «Электроника и микроэлектроника». 2013. С. 166-169.
Айверсон Дж. Х. и др. Диффузионные барьеры из палладия для медных микроэлектронных соединений // Журнал вакуумной науки и техники В: Микроэлектроника и обработка нанометровых структур, измерения и явления, 2001.
Азарова, Е. И., Джуан, Х. А. Сравнительный анализ свойств золота, серебра, ксенона, криптона, сурьмы и палладия. Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. - 2017. - Т. 17, № 6. - С. 1137-1142.
Мангасарян, П. А., Аракелов, Л. А. Особенности свойств и применения редких металлов: золота, серебра, ксенона, криптона, сурьмы и палладия. Материалы и технологии. - 2019. - Т. 7, № 1. - С. 15-22.
Гальперин М. В. Электротехника и электроника : учебник / М. В. Гальперин. — 2-е изд. — Москва : ФОРУМ : ИНФРА-М, 2022. — 480 с.
